苏州中科煜宸申请基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统专利,防止对单晶硅造成损伤

0次浏览     发布时间:2025-03-20 08:44:00    

金融界2025年3月20日消息,国家知识产权局信息显示,苏州中科煜宸激光智能科技有限公司申请一项名为“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”的专利,公开号 CN 119635011 A,申请日期为 2024年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统,包括:激光器;分光镜;聚焦镜;水导加工头;单晶硅片,经由水射流对其进行水导激光切割加工;透明玻璃,从底部方向贴合到单晶硅片,与单晶硅片形成一体并支撑单晶硅片;夹具,包括上夹具与下夹具,分别从单晶硅片的上表面以及透明玻璃的下表面进行夹持;以及在上夹具与单晶硅片的上表面之间的缓冲层。本发明通过高透光性玻璃作为底部支撑材料,既提供有效的支撑,同时使得加工过程中的激光逸散,防止对单晶硅造成损伤减少水流冲击产生的崩边和裂纹提高单晶硅水导激光加工的质量。同时在夹具与单晶硅片的接触面加装弹性垫片进行缓冲和防护,提高加工成品表面质量。

天眼查资料显示,苏州中科煜宸激光智能科技有限公司,成立于2020年,位于苏州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币,实缴资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州中科煜宸激光智能科技有限公司参与招投标项目8次,专利信息77条,此外企业还拥有行政许可8个。

本文源自金融界

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